Forschungsschwerpunkte
Unsere Kompetenzen liegen in modernen Verfahren der Materialbeschichtung,
insbesondere in:
insbesondere in:
• | Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) |
• | Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) |
• | Plasmatechnologien |
• | Thermische Verdampfung |
• | Ionenstrahl- und ionenstrahlunterstützte Verfahren |

















